<meta charset="UTF-8"><meta name="baidu-site-verification" content="code-Imz680qISq" /> 真空泵的关键技术问题-彩神lll

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真空泵的關鍵技術問題

       由于圓漸開線的幾何特性,渦旋齒型線若采用圓漸開線,則必然在渦旋齒始端產生齒碰干涉現象,傳統方法是把齒碰區域切掉,來避免此現象,這樣當氣體壓縮到中心區域時會產生膨脹現象,造成壓縮比和極限真空度的降低。為了提高壓縮比和渦旋齒齒頭強度,及解決渦旋齒型線在加工中與刀具干涉的問題,通常進行型線修正。常見的修正方法有雙圓弧修正、直線圓弧修正、多對圓弧修正、二次曲線修正和三角函數修正等。
       但目前的修正方法還不是很成熟,如果參數設計不合理,仍然會出現干涉問題,所以設計時一定要進行三維運動模擬,查看修正后的型線是否存在干涉問題。密封問題是影響渦旋真空泵極限真空度的主要因素,壓縮氣體會通過側向間隙和軸向間隙返流,這就需要采用軸向和徑向密封來減少氣體返流。渦旋真空泵的密封主要包括軸向嚙合間隙的徑向密封,即齒頂密封,和徑向嚙合間隙的切向密封,即齒側密封。
       由于渦旋真空泵的型線特性,吸氣腔與排氣腔沒有直接相連,中間存在壓縮腔,所以相鄰工作腔間的壓差不大,較易密封氣體。軸向間隙為動渦旋盤齒頂端與靜渦旋盤盤面以及靜渦旋盤齒頂端與動渦旋盤盤面之間存在的間隙。常在動渦旋盤和靜渦旋盤的齒頂面上開設與渦旋齒型線相同的渦旋槽,并在渦旋槽內嵌入特種材料的密封條來密封。由于密封條與渦旋盤盤面之間存在相對運動,所以要求密封材料具有耐磨、耐高溫的特性。
       渦旋齒高度的加工誤差,動渦旋盤和靜渦旋盤的安裝誤差,渦旋齒的熱變形,雙面泵中動渦旋盤面兩端的壓力差等都會引起軸向間隙的變化,這要求密封材料具有一定的彈性和強度,補償間隙的變化。目前常用的密封材料為摻入特殊材料的聚四氟乙烯混合物。為了保證渦旋齒齒端的強度,渦旋槽不要太深。渦旋泵結構設計應易于動、靜渦旋盤的拆卸,當長期運轉后,密封條不滿足密封要求時,可以較方便的進行替換。
       極限真空度是渦旋真空泵的主要性能指標,齒頂密封和齒側密封是影響極限真空度的主要因素。密封效果主要受加工精度、材質和表面處理等因素決定,所以提高加工精度,改善渦旋盤材料,合理的表面處理可提高密封效果,這需要較多領域的專家合作,共同努力實現。